教学类

α能谱真空测量系统

产品特点:

低噪声、强稳定性、强兼容性

应用领域:

α能谱探测器能谱测量、半导体材料缺陷分析
详细性能参数请点击资料下载

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产品简介

α能谱真空测试系统由真空室、真空泵、能谱采集系统组成的测试设备。可制作为分体式和一体式。可用于CZT、PIPS、金硅面垒等α能谱探测器的能谱测量,以及其他新型半导体材料的缺陷分析。

系统框架图:

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